污染控制

痕量杂质的卓越灵敏度和污染控制

随着集成电路中半导体的大小继续缩小，痕量水平污染物（尤其是金属）对制造产量的影响正在增长。只有Agilent的8900三倍四极杆ICP-MS188bet博金宝官方网站和7900 ICP-MS等仪器才能提供有效检查半导体的纯度，颗粒和包装所需的高敏感性。

我们新一代的最终灵敏度技术正在污染控制方面，Cary 600系列FTIR和4300个手持式FTIR也可以实现表面和浅层杂质检测。我们的解决方案可以直接分析化学药品，消除稀释和样品污染问题，并得到一套全面的样品处理，自动化工具以及针对半导体使用者无与伦比的支持结构的支持。